一、火災(zāi)危險(xiǎn)類別的確定
芯片生產(chǎn)廠房生產(chǎn)過程中使用較多種類的化學(xué)品和特氣，其中化學(xué)品和特氣的配送采用防火防爆措施并與其他區(qū)域分開，雖然在生產(chǎn)過程中使用一定量的危險(xiǎn)材料，但危險(xiǎn)材料的儲(chǔ)存、輸送、使用均在密閉環(huán)境中進(jìn)行，并采用吹掃和氮?dú)獗Ｗo(hù)，設(shè)備本身不僅帶有消防系統(tǒng)，還自帶高靈敏探測(cè)器?；馂?zāi)發(fā)生時(shí)能及時(shí)切斷供應(yīng)，消滅火源。特氣輸送采用的管道無閥門，均為無縫焊接，減少漏氣隱患。特氣柜設(shè)有 24h 排風(fēng)，所有有毒易燃易爆液體、氣體均設(shè)有泄漏報(bào)警，且特氣、化學(xué)品暫存區(qū)的面積占對(duì)應(yīng)防火分區(qū)面積的 5% 以內(nèi)。因此，該類廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)類別定義為丙類。
二、耐火等級(jí)、防火分區(qū)、安全疏散設(shè)計(jì)及內(nèi)部裝修要點(diǎn)
FAB主廠房的建筑耐火等級(jí)為一級(jí)，生產(chǎn)區(qū)與輔助用房、實(shí)驗(yàn)室分區(qū)明確，全廠設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。根據(jù)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50472—2008）第6.2.3條和第6.2.7條的規(guī)定，“生產(chǎn)區(qū)在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有及早期火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01% obs/m 的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)，每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。其安全疏散距離可根據(jù)工藝需求確定，但不能超過《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》中規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍”，即為90m。這里需注意的一個(gè)設(shè)計(jì)重點(diǎn)是，如果疏散距離要達(dá)到90m，前提條件是防火分區(qū)內(nèi)整個(gè)消防系統(tǒng)的覆蓋范圍內(nèi)須共用同一套回風(fēng)系統(tǒng)。高靈敏度火災(zāi)探測(cè)器是安裝在DCC區(qū)域，整個(gè)分區(qū)的空間的回風(fēng)均經(jīng)由DCC處，這樣才能實(shí)現(xiàn)高靈敏度檢測(cè)。在實(shí)際項(xiàng)目中，為了節(jié)約成本及現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際管控方便，常將生產(chǎn)區(qū)域外的疏散走道做成一般走道而非潔凈走道，這種情況生產(chǎn)區(qū)外的走道的回風(fēng)系統(tǒng)就是常規(guī)系統(tǒng)，達(dá)不到提高疏散距離的特殊要求。在這種情況下，消防上的疏散距離需按照潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)到安全出口的疏散距離 90m，且非潔凈疏散通道到安全出口的疏散距離須控制在60m之內(nèi)，這兩個(gè)條件缺一不可。該項(xiàng)目的安全疏散就是采用 90m，在設(shè)計(jì)中嚴(yán)格核算相關(guān)疏散路線，確保滿足 90m和60m的雙重要求。
通過總結(jié)許多潔凈廠房火災(zāi)實(shí)例發(fā)現(xiàn)，設(shè)計(jì)之初判定并選擇合適的建筑物耐火等級(jí)十分重要，設(shè)計(jì)時(shí)將廠房的耐火等級(jí)定位為一級(jí)、二級(jí)（體量大的更推薦定位為一級(jí)），使其建筑構(gòu)件的耐火性能滿足甲、乙類生產(chǎn)廠房的要求，從而降低部分甲、乙類房間的危險(xiǎn)等級(jí)，從而降低火災(zāi)發(fā)生的概率。設(shè)置防火分區(qū)，一是可以有效控制火災(zāi)蔓延，減少火災(zāi)損失；二是便于火場(chǎng)撲救，將火災(zāi)影響控制在一定范圍內(nèi)，消防人員有針對(duì)性地在現(xiàn)場(chǎng)尋找火源，為消滅火災(zāi)爭(zhēng)取更多的黃金時(shí)間。
潔凈廠房的安全疏散設(shè)計(jì)主要考慮安全出口、疏散走道、疏散樓梯的均衡設(shè)置。
在疏散距離設(shè)計(jì)上，結(jié)合廠房體量和密閉的特點(diǎn)，充分考慮人員安全疏散的要求，經(jīng)過嚴(yán)格的模擬和計(jì)算，布置最佳疏散線路，對(duì)于安全出口和疏散通道的布置也要進(jìn)行合理規(guī)劃，滿足從生產(chǎn)地點(diǎn)到安全出口不經(jīng)過曲折的凈化路線。潔凈廠房的裝修根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50073—2013）第 5.2.3條和第5.2.4條規(guī)定，“對(duì)潔凈室的頂棚、地面、墻面也提出了特殊的要求：潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料》應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。潔凈生產(chǎn)區(qū)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，隔墻上的門窗耐火極限不低于0.6h。”
在實(shí)際項(xiàng)目中，經(jīng)常將疏散走道上的參觀視窗的玻璃替換為普通玻璃，不能滿足消防驗(yàn)收要求和設(shè)計(jì)要求，后續(xù)需強(qiáng)制改造。因此，此處需要特別注意，防火玻璃有隔熱型防火玻璃（耐火極限大于60min）和非隔熱型防火玻璃（耐火極限不大于60min），在實(shí)際設(shè)計(jì)中要根據(jù)設(shè)計(jì)部位耐火極限的要求選擇適當(dāng)?shù)姆阑鸩Ａь愋汀?/span>
三、消防設(shè)施的合理選擇
根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50073-2013）第7.4.5條規(guī)定，在潔凈廠房?jī)?nèi)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時(shí)，除應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GB50016）的有關(guān)規(guī)定，還應(yīng)符合下列規(guī)定：
當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)采用鹵代烷1211，以及能導(dǎo)致人員窒息和對(duì)保護(hù)對(duì)象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。傳統(tǒng)的自動(dòng)噴水系統(tǒng)很難滿足潔凈廠房的潔凈度要求，同時(shí)噴頭使用一定時(shí)間后容易爆裂，這種現(xiàn)象在北方地區(qū)特別明顯，也會(huì)不可避免地造成水噴的二次污染。但在實(shí)際項(xiàng)目中，隨著技術(shù)的進(jìn)步和噴頭技術(shù)的完善提升，考慮特殊情況出現(xiàn)的概率和前期成本投入，許多項(xiàng)目還是會(huì)采用常規(guī)的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，在選擇保證人員安全和預(yù)防經(jīng)濟(jì)損失方面，二者選其一，保證人員安全。
采用預(yù)作用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，人員安全和設(shè)備經(jīng)濟(jì)損失二者都能兼顧。但在進(jìn)行消防驗(yàn)收的時(shí)候，按照傳統(tǒng)方式進(jìn)行消防系統(tǒng)驗(yàn)收（末端試水動(dòng)作）難度很大。預(yù)作用系統(tǒng)，末端支管在主管之下，末端試水后，端部水的排放需要一個(gè)個(gè)噴頭進(jìn)行排水，在大體量的FAB廠房?jī)?nèi)，成本高，且工作量大。故在驗(yàn)收前，需在潔凈廠房外另做一路消防支管用于末端試水工作。在驗(yàn)收之前，需與當(dāng)?shù)叵谰诌M(jìn)行相關(guān)驗(yàn)收驗(yàn)證。潔凈室的自動(dòng)滅火系統(tǒng)的支管與主管的連接，存在一個(gè)法規(guī)層面的矛盾點(diǎn)：《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50084—2017）第8.0.4條規(guī)定“消防灑水軟管僅適用于輕危險(xiǎn)級(jí)或中危險(xiǎn)級(jí)Ⅰ級(jí)場(chǎng)所，且系統(tǒng)應(yīng)為濕式系統(tǒng)”，而《硅芯片芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50809—2012）第8.3.10條規(guī)定“潔凈區(qū)吊頂下噴頭宜采用不銹鋼柔性接管與自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)管道相連接”。
在火災(zāi)危險(xiǎn)性等級(jí)為中危Ⅱ級(jí)情況下，吊頂下噴頭采用不銹鋼軟性軟管連接。軟管用于硅芯片芯片生產(chǎn)廠房的噴頭連接，可以避免地震時(shí)由于吊頂與消防管路的相對(duì)位移造成管路和噴頭破損而引發(fā)的水漬損害。同時(shí)由于軟管具有一定的長(zhǎng)度，在噴頭位置需要根據(jù)房間分隔變化，便于快捷方便調(diào)整噴頭布置。軟管安裝簡(jiǎn)單快捷，還可有效降低硬管安裝誤差所造成的吊頂與消防管道間的應(yīng)力。在實(shí)際項(xiàng)目驗(yàn)收中，這個(gè)矛盾點(diǎn)經(jīng)常會(huì)對(duì)項(xiàng)目的驗(yàn)收產(chǎn)生影響，如果消防提出這個(gè)問題，可結(jié)合設(shè)計(jì)與當(dāng)?shù)叵捞崆斑M(jìn)行相關(guān)設(shè)計(jì)論證，規(guī)避后續(xù)驗(yàn)收問題。
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